納米操作機、納米機械手、納米操縱機械臂、納米操縱儀TNI LF-2000

小尺寸：小型化設計，結構緊湊

高精度：納米級微操作

易操作：XYZ直角坐標，支持PC/遙感操作

產品簡介

TNI LF-2000是兼容SEM/FIB的自動化納米操作系統，也是能夠在SEM/FIB下提供可重復定位、低漂移、閉環運動控制定位的納米操作系統。

TNI LF-2000 is the most automated SEM-based nanomanipulation system on the market. It is the only system that provides repeatable,drift free,closed-loop nano positioning inside SEM.

產品特性

· 兼容主流電鏡，不影響電鏡功能
· 具有大行程、亞納米分辨率運動定位性能

· 位移傳感器集成自動化和可編程運動
· SEM真空環境優化設計，可快速安裝與拆卸

規格參數

系統概況

系統尺寸

127x127x33mm3*

機械手數量

1-4

操作手（宏動）

驅動原理

粘滑驅動

運動范圍

XY軸：10mm Z軸：5mm

速度

>3mm/s

最小步長

45μm/s

開環運動分辨率

0.5nm

閉環運動分辨率

1nm

定位漂移率

。