SEM兼容原子力顯微鏡

產品簡介

EM-AFM 納米操作系統提供了在SEM電鏡中原子力顯微鏡成像和定量測量納米力的能力。它可將SEM和AFM這兩種顯微技術進行聯用，提供高速高分辨率的3D形貌成像，以及微納米和亞納米尺度納牛力相互作用的實時觀測。

產品特性

· 同步AFM 和 SEM 成像

· 兼容市面上的主流SEM電鏡

· 超高分辨率形貌掃描

· 通過納米壓痕定量測量納米力

· 真空載鎖兼容

· 操作穩定性高，不受SEM電子束干擾

規格參數

系統概況

系統尺寸

100x100x35mm

SEM載鎖兼容

根據客戶需求提供方案

可用環境

SEM真空環境兼容

系統重量

400g+SEM/FIB適配器

樣品運動臺

運動范圍

15x15x5mm

集成編碼器

可選

閉環運動分辨率

1nm

運動速度

>45mm/s

小范圍掃描器

掃描范圍

35x35x5μm

集成編碼器

有

閉環分辨率

優于0.2nm

掃描速度

8μm/s

漂移率