小型蒸鍍儀

KT-Z1650DM是一款小型臺式加熱功率可控蒸發鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動擋板功能。通過定時調節預熱功率及蒸發功率，可對大部分金屬進行均勻蒸發沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

控溫方式

數字式功率調整器

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

最大功率

≤800W

最大輸出電壓電流

電壓≤10V 電流≤80A

真空度

機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa

擋板類型

電控

樣品室

石英腔體φ160mm x 160mm

樣品臺

可旋轉φ62 （可安裝φ50基底）

樣品臺轉速

8轉/分鐘

樣品熱源調節距離

70-140mm

蒸發溫度調節

≤1600℃

蒸發坩堝容積

3ML

真空法蘭

KF25抽氣口 KF25擴展口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口

可選配擴展

1 膜厚在線測試 2 分子泵

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